透過型3Dデジタル・ホロスコープ
三次元リアルタイム・浸食イメージングおよび評価(TruImagE)システム
マイクロ・オプティクス計測用デジタル・ホロスコープ
応用
- 線形マイクロ・オプティクスの量的3Dイメージング
- 単レンズの特性化
- マイクロ・レンズアレイの均一性検査
- ナノメートル分解能で表面のプロファイリング
- 表面の粗さ測定
- 波面解析と復元
- 光学性能分析
- プロセス監視
特徴
- コンパクト
- 非接触
- 低コスト
- 複雑な整列&調節が不要
- 環境振動および位相曲率の物理的補正
- 研究室または工場に最適
仕様
| 顕微鏡対物レンズ |
10× |
20× |
40× |
60× |
| 横方向分解能 (μm ) |
4.4 |
2.2 |
1.6 |
1.1 |
| 縦方向分解能(nm) |
10 |
10 |
10 |
10 |
| 視野 (μm×μm) |
790×620 |
370×270 |
190×130 |
130×90 |
マイクロ・レンズアレイ用BS EN ISO14880-1 〜 14880-4 規格