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赤外楕円偏光解析システム (エリプソメトリー)

Wavelength社が新たに開発した赤外エリプソメトリー・システムは、CO2 RFレーザの中で反射したレーザ・ビームから振幅と位相を測定する装置です。偏光の振幅と位相は、一連のコーティング試験を通じたコーティング特性に相関しています。ユーザー・インターフェイスのソフトウェアは偏光に関する情報、アーカイブ・ログを抽出し、コーティング特性のデータベースを提供するために構築されました。


仕様（型名：ELPM-001）

ワークステーション
　レーザ     出力 10W
波長 10.6μm
出力安定性 ＜3％
冷却 水冷
アライメント光 可視光
　位相測定   分解能 ＜3度
サンプル 0度および90度位相回転ミラー
測定SOP 加熱時間、測定サイクル、OFFまたはオプションではない
　電気系統 電源 240V (13Aフューズ）
　動作条件   振動制御 最低VC-B(3μm)
湿度 ＜50％
温度 24±1度
　物理的仕様   エンクロージャー 光学ボードが好ましい、オープン構造
専有面積 2m(L)×1m(W)×0.5m(H)
重量 ＜50Kg
コンピューター
　モニター ＞17インチLCD
　RAM ４GB
　ハードディスク ＞100GB
　PCIスロット 最低２
ソフトウェア
　OS Windows XPまたはWindows 7
　GUI    位相を度で表示
位相ダイヤグラムでデータを表示
ON/OFFのコントロールボタンでデータ集積およびミラーの回転、
または変調ドライバー
データ・セーブ・ボタンでファイル名に入力およびフォーマット
　データ集積  出力のデータ集積の機能で
集積速度は回転速度に依存
　データ処理  位相計算処理
テキスト・フォーマットでセーブ・データ
　据付ファイル CD-ROM