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自動膜厚測定器：Wavelength Opto-Electronics

ATM（自動膜厚測定器）は、レンズなどの精密部品の非接触・高速・高精度のプロ仕様の膜厚測定装置です。 厚さ < 15mm の検出に適しており、試験サンプル上の単一測定点を自動的に検出します。 先進の設計思想とハードウェア構成を採用し、検査サンプルの厚さの値を測定し、自動で合否判定を行うため、検出効率が向上します。

製品一覧
型名 ATM102
製品 自動膜厚測定器
測定パラメーター 厚み
適用レンズ 厚み＜ 15mm（カスタム化可能）
サンプルサイズ 150mm x 150mm
シングル測定時間 ＜ 1秒
測定精度 ± 3 um
寸法（ＬｘＷｘＨ） 800mm x 500mm x 980mm（カスタム化可能）
重量 ＜ 220 kg
動作環境 クラス10,000 クリーンルーム、相対湿度＜ 55%
電源 AC 220V ± 5%, 50Hz, 300W
温度条件 -20℃ ~　＋60℃
接地抵抗 < 3Ω