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レーザオプティクス／精密光学Precision Optics

取扱製品

ビームスプリッタ―

ビーム スプリッターは、単一の入射光ビームを 2 つ以上の別々のビームに分割するために使用される光学コンポーネントです。弊社では、CO2 レーザ用途に最適な 9.4μm および 10.6μm の波長の ZnSe ビーム スプリッターと、無偏光ガラス プレートおよびガラス キューブ ビーム スプリッターを設計および製造しています。

無偏光板型ビームスプリッター - BSPN シリーズ

レーザビームを分割するために一般的なガラスビームスプリッターが使用されます。 ビームスプリッターの性能は主にコーティングの仕様に依存します。

仕様

　　・材質：溶融石英、N-BK7
　　・寸法公差：+0.0/-0.2mm
　　・厚さ公差：±0.2mm
　　・クリアアパーチャ: >90%
　　・表面品質: 60/40 スクラッチ-ディグ
　　・平坦度: < λ/4 @ 632.8nm
　　・ビーム偏差: <3 arc分
　　・T/R 許容差: ±5% コーティング (AOI=45°):
　　　　　　　　　面1 - 非偏光ビームスプリッター コーティング、面2 - ARコーティング
　　・損傷しきい値: >3J/cm2、20ns、20Hz @ 1064nm

無偏光キューブビームスプリッター - BSCNシリーズ

斜辺面に非偏光ビーム スプリッター コーティングを施したこのシリーズのキューブ ビーム スプリッターは、入力ビームの偏光に関係なく 50:50 の分割比を提供します。

仕様

　　・材料：N-BK7
　　・寸法公差：±0.2mm
　　・クリアアパーチャ: >90%
　　・表面品質: 60/40 スクラッチとディグ
　　・平坦度: < λ/4 @ 632.8nm
　　・ビーム偏差: < 3 arc分
　　・T/R許容差: ±5%
　　・コーティング (AOI=45°): 斜辺面に無偏光ビームスプリッター コーティング、
　　　　　　　　　　　　　　　 すべての入入射口に AR コーティング
　　・損傷しきい値: >100mJ/cm2、20ns、20Hz @ 1064nm

ZnSeビームスプリッター - BSZシリーズ

光の透過と反射は、入射角、偏光状態、入力ビームの波長などのさまざまなパラメータに依存します。 45°の入射角では、s 偏光と p 偏光の透過率と反射率の値に大きな差があるため、ZnSe ビーム スプリッターはこの角度用に設計されています。

仕様

　　・直径公差: +0/-0.13 mm
　　・厚さ：± 0.25 mm
　　・表面平坦度: 1 インチ径あたり λ/4 @632.8nm
　　・表面品質: 60-40 S-D


ビームスプリッタ―製品一覧



可変ビームスプリッター: 偏光の原理による精密制御

高精度レーザアプリケーションには、精密な出力制御が必要です。 広いダイナミックレンジと精密な制御を備えた可変ビームスプリッターは、この目的を満たすように設計されています。 UV から IR までの波長範囲にわたる 2 つの偏光状態間の強度分割に適しています。

動作原理

この可変ビーム スプリッターは、特別に設計された精密光学機械ホルダーで構成されています。 関連する主要なオプティクスには、1/2 波長板と偏光ビーム スプリッター (PBS) が含まれます。 1/2波長板は通常、光軸に平行にカットされた複屈折結晶でできています。 入射ビームの偏光方向を変更するために使用されます。 波長板とビームスプリッターキューブの表面は、設計された波長範囲にわたって AR コーティングでコーティングされています。 1/2 波長板の後に配置された PBS は、s 偏光を反射し、p 偏光を透過します。 ｓ偏光ビームとｐ偏光ビームの強度比は、波長板を回転させることによって連続的に変化させることができる。 出射ビームの強度またはその強度比は、広いダイナミック レンジにわたって制御できます。 最大の透過率を得るために P 偏波を選択できます。 2 つのビーム間の強度の最大値から最小値までの全範囲の変化は、半波長板を 0 度から 45 度まで回転させることによって実現できます。

　　

　　　　　図 1. 可変ビームスプリッターの原理　　　　　　　　図 2. 可変ビームスプリッターのレイアウト


さまざまな動作波長における可変ビームスプリッターの主な仕様を以下に示します。

波長 355 / 532 / 1064 nm
タイプ 透過モード
有効口径 14 mm
ビームシフト 0.5 mm
消光比 > 200:1
パワー変動範囲 0.5 % ? 95 %
損傷しきい値 > 5J/cm2@1064nm, 20ns, 20Hz
重さ < 300 g

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　表 1. 偏光減衰器の主な仕様

アプリケーション

以下に挙げる特性により、可変ビームスプリッターは微調整ステップでレーザ強度を正確に制御できます。 適切なタイプの偏光子を使用すると、この原理を非常に高い出力レベルで実現できます。
　　　? レーザビームを手動で調整可能な強度比の 2 つの平行ビームに分割します。
　　　? 広いダイナミックレンジ
　　　? 無視できる透過ビーム偏差
　　　? 高い光学的損傷しきい値
　　　? 透過減衰範囲 0.5% ? 95.0%

　　　　

　　　　　　　　　　　　　　　　　図 3. さまざまな偏光レーザ光学系