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Beam Splitting Element

ビーム分割素子

2016年6月
概要

ビーム分割素子は、入射レーザビームを元のビームの特性を変更することなく(スポットサイズと伝播方向を除く)、任意の数のサブビームに分割することができます。
右の写真に示すように、32×32の2次元でビームを分割することができます。
光スポットの1次元ラインアレイによって、光スポット間の長さや角度は、お客様のニーズに合わせて設計することができます。

アプリケーション

取り扱い方法

発散角をお客様のニーズに合わせて調整することができますが、正確な分割を得るためには、コリメートされた入射ビームが必要とされます。遠視野での発散角誤差は、0.03ミリラジアン以内に制御することができます。通常、お客様が自分の集光レンズを使用している場合、当社が決定するための設計と各ビーム間の距離を提供することができます。ビーム分割素子の後に、単純な集光ミラーを配置することができます。

素子の特性

二重ビーム分割素子の効率は、80%を達成することができます。ビーム分離素子のマルチビーム(少なくとも3)では、バイナリマルチステップエッチングを使った分析で、効率は85%〜95%です。n次は、より良好な分割効果を得るために、お客様は最初のスポットサイズを提供する必要があり、スポットサイズは、エッチングの少なくとも3〜5倍、最良の結果の5倍以上を必要とします。

必要なパラメーター

お客様には、以下のパラメータをご提供していただく必要があります。