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レーザオプティクスLaser Optics

取扱製品

F-θ スキャンレンズ

Nd:YAG、グリーン&UVレーザ用

ほとんどの最先端レーザ加工機で、レーザオプティクスは、マーキングや穴あけ、溶接、ダイシング、スクライビング、切断、彫刻などの様々なアプリケーションを実現するために、システムに組み込まれます。
F-θスキャンレンズは、XYガルバノメータースキャナおよびビームエクスパンダーと一緒に使用され、二次元のスキャニングシステムを形成します。スキャンレンズは、スキャン領域全体にわたって、ミクロンサイズの回折限界スポットを有するフラットなフィールド画像を提供するように最適化されています。
像視野の高さは、スキャン角度にほぼ正比例します。典型的には、線形性のfθ歪みは、ソフトウェアによって最小の歪みとなるように補正しなくても1%未満に維持されます。レンズ素子の表面には高透過性ARコーティングが施され、パワー損失を最小に抑え、スループットを増やします。スキャンレンズには、レーザ加工機にレンズを取り付けやすくするために、工業規格M85x1のマウントスレッドで設計されています。別の標準マウントスレッドに対応するために、変換マウントアダプターを用意しています。 特に明記しない限り、当社の製品のほとんどはRoHSに準拠しています。
開口絞りは、二軸スキャニングシステムの場合、XYミラーの中心点に設定されています。

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■1064nmレーザ用 F-θレンズ(光学ガラス)

パーツ番号 EFL
(mm)
掃引角
(±°)
掃引域
(mm)
入射瞳
(mm)
長さ
(mm)
動作距離
(mm)
ねじ
サイズ
SL-1064-40-80-D25 80.0 25.0 40x40 25.0 90.75 76.98  M85x1 102x2
SL-1064-45-80 80.0 23.0 45x45 10.0 29.2 91.4 M55x1 47x2
SL-1064-70-100 100.0 25.0 70x70 14.0 49.5 98.8 M85x1/
M79x1
76x1
SL-1064-80-111.5 111.5 25.0 80x80 10.0 56.7 123.0 M79x1 93x2.5
SL-1064-65-125 125.0 21.3 65x65 15.0 54.5 146.6 M85x1 83x3
SL-1064-105-152 152.0 25.0 105x105 10.0 48.0 175.0 M85x1 78x1.5
SL-1064-50-160 160.0 18.0 50x50 8.0 27.0 182.3 M39x1 43x2
SL-1064-70-160-D30 160.0 18.0 70x70 30.0 84.3 172.2 M100x1 116x3
SL-1064-F160B 160.0 27.6 110x110 12.0 48.8 182.9 M85x1 75x1.6
SL-1064-94-163Q 163.0 25.0 94x94 10.0 44.0 197.1 M85x1 -
SL-1064-112-163A 163.0 25.0 112x112 14.0 47.0 182.1 M85x1 76x3
SL-1064-107-163 163.0 18.6 107x107 12.0 43.2 181.2 M85x1 75x1.6
SL-1064-112-163G 163.0 28.0 112x112 14.0 47.0 182.1 M85x1 76x3
SL-1064-112-163 163.0 25.0 112x112 10.0 49.0 184.9 M85x1 76x3
SL-1064-114-163R1 163.3 25.0 114x114 15.0 53.9 184.0 M85x1 76x3
SL-1064-100-165-D25 165.0 22.5 100x100 25.0 93.7 197.1 M85x1 126x3
SL-1064-120-170 170.0 29.0 120x120 20.0 60.6 195.8 M85x1 110x2.5
SL-1064-152-192 192.0 32.0 152x152 15.0  63.0 221.8 3.875"-32 128x2
SL-1064-90-201-D30 201.0 6.6 90x90 30.0 82.7  243.0 M85x1 123x3
SL-1064-160-210 210.0  25.0  160x160 10.0 50.0 246.2 M85x1/M79x1 94x2.5
SL-1064-140-210 210.0  25.0 140x140 14.0  50.0 238.4 M85x1 86x2.5
SL-1064-F254B 254.0  23.0 175x175 10.0 50.0 280.0 M85x1 75x2
SL-1064-180-254 254.0 18.0 180x180 20.0 70.7 295.0 M85x1 -
 SL-1064-100-254-D30  254.0 16.1 100x100 30.0 66.1 303.3 M85x1 110x2.5
SL-1064-175-254 254.0 25.0 175x175 16.0 61.7 288.9 M85x1 97x2.5
SL-1064-180-260 260.0 25.0 180x180 10.0 63.0 297.0 M85x1 97x2.5
SL-1064-200-310-D25 310.0 26.0 200x200 25.0 78.1 352.3 M85x1  120x3
SL-1064-205-330 330.0 25.0 205x205 14.0 60.0 385.0 M85x1 98x2.5
SL-1064-220-330G 330.0 26.8 220x220 12.0 39.9 378.5  M85x1 72x2
SL-1064-305-338 338.0 36.5 305x305 15.0 52.5 398.1  3.857"-32 128x2
SL-1064-300-420 420.0 29.0 300x300 14.0 69.4 492.0 M85x1 110x2.5
SL-1064-320-420-D30 420.0 30.0 320x320 30.0 165.4 391.8 M150x1 204x4
SL-1064-400-525 525.0 30.0 400x400 10.0 43.0 597.3 M79x1/M85x1 88x2.5
SL-1064-330-580 580.0 23.0 330x330 10.0 47.4 709.5 M85x1 83x3
SL-1064-500-815-D24 815.0 25.0 500x500 24.0 106.9 962.0 M85x1 150x3

■532nmグリーンレーザ用 F-θレンズ(光学ガラス)

パーツ番号 EFL
(mm)
掃引角
(±°)
掃引域
(mm)
入射瞳
(mm)
長さ
(mm)
動作距離
(mm)
ねじ
サイズ
SL-532-70-100 100.0 25.0 70x70 14.0 47.1 100.9 M85x1 74x2.5
SL-532-90-120A 120.0 25.0 80x80 8.0 38.9 134.0 M85x1 57x2.5
SL-532-70-160 160.0 25.0 70x70 7.0 26.5 176.2 M39x1 40x2
SL-532-115-165 165.0 28.3 115x115 10.0 47.01 183.5 M85x1 74x2.5
SL-532-150-254 254.0 25.0 150x150 10.0 51.0 280.0 M85x1 97x3
SL-532-225-410 410.0 25.0 225x225 14.0 48.9 443.7 M85x1 80x4
SL-532-335-520 520.0 23.5 355x355 16.0 57.4 599.2 M102x1/
M85x1
118x3
SL-532-500-750 750.0 27.7 500x500 16.0 97.0 911.2 M85x1 152x3

■532nmグリーンレーザ用 F-θレンズ(溶融石英)

パーツ番号 EFL
(mm)
掃引角
(±°)
掃引域
(mm)
入射瞳
(mm)
長さ
(mm)
動作距離
(mm)
ねじ
サイズ
SL-532-74-113Q 113.0 27.2 74x74 6.0 65.8 140.5 M85x1 84x2
SL-532-65-120Q 120.0 20.0 65x65 12.0 71.0 156.6 M85x1 -
SL-532-90-160Q 160.0 20.0 90x90 14.0 83.0 209.6 M85x1 -
SL-532-90-163Q 163.0 22.8 90x90 10.0 77.2 204.5 M85x1 96x3
SL-532-115-165Q 165.0 29.4 115x115 10.0 77.1 220.6 M85x1 74x2.5

■355nmUVレーザ用 F-θレンズ(溶融石英)

パーツ番号 EFL
(mm)
掃引角
(±°)
掃引域
(mm)
入射瞳
(mm)
長さ
(mm)
動作距離
(mm)
ねじ
サイズ
SL-355-60-100Q 100.0 23.8 60x60 6.0 50.8 137.4 M55x1 -
SL-355-105-170Q 170.0 27.0 105x105 6.0 50.9 216.1 M85x1/
M55x1
76x3
SL-355-155-250 250.0 25.5 155x155 10.0 54.9 299.8 M85x1 82x2
SL-355-180-290-D20 294.4 25.5 180x180 20.0 65.0 332.5 M85x1 99x2
SL-355-180-295A 294.4 25.0 180x180 10.0 45.3 359.0 M85x1 84x2
SL-355-210-328 328.0 26.4 210x210 10.0 79.6 406.4 M85x1 114x2
SL-355-250-410 407.5 25.0 250x250 10.0 46.8 488.2 M85x1 86x2
SL-355-350-580 580.0 24.5 350x350 10.0 64.6 682.8 M85x1 106x3
SL-355-500-815 815.0 25.0 500x500 10.0 83.2 976.4 M85x1 107x3
SL-355-650-1000 1000.0 26.5 650x650 10.0 91.9 1200.1 M85x1 132x3

■266nmUVレーザ用 F-θレンズ(溶融石英)

パーツ番号 EFL
(mm)
掃引角
(±°)
掃引域
(mm)
入射瞳
(mm)
長さ
(mm)
動作距離
(mm)
ねじ
サイズ
SL-266-70-100 100.0 30.0 70x70 5.0 59.9 132.9 M85x1/
M55x1
76x2
SL-266-100-160 162.3 25.0 100x100 5.0 59.9 198.8 M85x1 62x2
SL-266-90-254 254.0 18.0 90x90 4.0 47.0 253.0 M85x1 82x2